冷凍機工作原理：通常在高真空腔內，水氣分子是Z典型的污染氣體，占腔內殘余氣體 65% 到 95% ，當真空度達到 10-4 mbar 時，水汽分子會非常難抽，為了快速的達到較高的真空度， 研發出水汽深冷泵，快速吸附真空腔內的水汽，輔助抽真空，極短的時間達到10-8 mbar 高真空。

Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速閉環水氣深冷泵-冷凍機，通過使用專利的 無毒環保型冷媒，利用麥斯納（Meissner）吸收原理，使水氣分子在低溫盤管（Cryocoil）的超低溫表面上凝結從而被捕集。低溫盤管可直接安裝在真空腔中，根據客戶腔體定制。

應用：真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)一般使用油擴散泵抽真空，腔體內會殘留大量水汽和油蒸汽，不但影響抽真空的時間，水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源，從而影響鍍膜產品的產量和質量， 冷凍機在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣，真空抽氣時間縮短 75%，企業產能可增加 20% 到 100%！

冷凍機利用新型無毒環保型冷媒，可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統 LN2 冷卻法對比，冷媒可循環使用，更加降低了企業成本。
組成：

A： 冷凍機主機（銅環和輪子可以選配，方便運輸）

B：外部冷凝管(外部連接管)

C：Feedthrough

D：真空腔

E：冷盤(低溫盤管)