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冷凍機工作原理:通常在高真空腔內,水氣分子是Z典型的污染氣體,占腔內殘余氣體 65% 到 95% ,當真空度達到 10-4 mbar 時,水汽分子會非常難抽,為了快速的達到較高的真空度, 研發出水汽深冷泵,快速吸附真空腔內的水汽,輔助抽真空,極短的時間達到10-8 mbar 高真空。
Fast Cycle Water Vapor Cryopump 快速閉環水氣深冷泵-冷凍機,通過使用專利的 無毒環保型冷媒,利用麥斯納(Meissner)吸收原理,使水氣分子在低溫盤管(Cryocoil)的超低溫表面上凝結從而被捕集。低溫盤管可直接安裝在真空腔中,根據客戶腔體定制。
應用:真空鍍膜(濺鍍、蒸鍍)一般使用油擴散泵抽真空,腔體內會殘留大量水汽和油蒸汽,不但影響抽真空的時間,水汽和油蒸汽還是鍍膜工件主要的污染源,從而影響鍍膜產品的產量和質量, 冷凍機在真空度 10-2 至 10-8 mabr 之間快速吸附真空腔內殘余水汽和油氣,真空抽氣時間縮短 75%,企業產能可增加 20% 到 100%!
冷凍機利用新型無毒環保型冷媒,可完全替代目前液氮 LN2 冷凍法。與傳統 LN2 冷卻法對比,冷媒可循環使用,更加降低了企業成本。
組成:
A: 冷凍機主機(銅環和輪子可以選配,方便運輸)
B:外部冷凝管(外部連接管)
C:Feedthrough
D:真空腔
E:冷盤(低溫盤管)